本文摘要：牵头工作将在EVG的能力中心积极开展，这是一个开放式的光刻/纳米压印（NIL）技术创新孵化器，同时也是全球唯一可及的300-mm光刻/纳米压印技术线2019年8月28日，奥地利，圣弗洛里安微机电系统（MEMS）、纳米技术和半导体市场晶圆键通与光刻设备领先供应商EV集团（EVG）今日宣告，与特种玻璃和微晶玻璃领域的世界领先技术集团肖特联手合作，证明300-mm（12英寸）光刻/纳米压印（NIL）技术在下一代增强现实/混合现实（AR/MR）头戴表明设备的波导/光导生产中用于的高折射率（HRI）玻璃晶圆的大体积图案成形已准备就绪。

牵头工作将在EVG的能力中心积极开展，这是一个开放式的光刻/纳米压印（NIL）技术创新孵化器，同时也是全球唯一可及的300-mm光刻/纳米压印技术线2019年8月28日，奥地利，圣弗洛里安微机电系统（MEMS）、纳米技术和半导体市场晶圆键通与光刻设备领先供应商EV集团（EVG）今日宣告，与特种玻璃和微晶玻璃领域的世界领先技术集团肖特联手合作，证明300-mm（12英寸）光刻/纳米压印（NIL）技术在下一代增强现实/混合现实（AR/MR）头戴表明设备的波导/光导生产中用于的高折射率（HRI）玻璃晶圆的大体积图案成形已准备就绪。此次合作牵涉到EVG的专有工艺和低折射率玻璃晶圆，将在EVG坐落于奥地利总部的NILPhotonics?能力中心展开。肖特将于9月4日至7日在深圳会展中心举办的中国国际光电博览会上展出一款使用EVGSmartNIL技术展开图案成形的300-mm玻璃晶圆。

肖特增强现实负责人RuedigerSprengard博士回应：将低折射率玻璃晶圆的生产扩展到300-mm，对于构建我们客户符合当今和未来领先AR/MR设备大大快速增长的市场需求所需的规模经济产量来说至关重要。通过联手合作，EVG和肖特突显了当今300-mm低折射率玻璃制造的设备和供应链的准备就绪性。

在此之前，用于光刻/纳米压印技术对具备光子学应用于结构的玻璃基板展开图案成形仅限于200-mm基板。向300-mm晶圆加工的迁入是将AR/MR头戴表明设备推上大众消费和工业市场迈进的最重要一步。

不过，在这些较小的基板上维持低基板质量和工艺均匀分布性是很难掌控的，必须先进设备的自动化和工艺控制能力。EVG的SmartNIL技术归功于多年的研究、研发和实验，目的符合纳米图案成形的市场需求，经过了现场检验，需要精彩从晶圆级样品尺寸扩展到大面积基板。去年六月，EVG发售了NIL300mm，将SmartNIL引进300-mm生产，符合各种设备和应用于的生产市场需求，其中还包括AR、MR和虚拟现实（VR）头戴表明设备的光学器件以及3D传感器、生物医疗设备、纳米光子学和等离子电子学。

EV集团企业技术开发和知识产权总监MarkusWimplinger回应：EVG的NILPhotonics能力中心正式成立于2014年，为光刻/纳米压印技术供应链中的各个合作伙伴和公司与EVG合作获取了一个开放式的创意孵化器，从而延长创意光子器件和应用于的开发周期和上市时间。我们很高兴与肖特公司合作，证明EVG光刻/纳米压印技术解决方案的价值，不仅有助新技术和新工艺的研发，还需要加快新技术和新工艺在大众市场中的使用。我们正在联手肖特积极开展的工作，突显了光刻/纳米压印技术设备和工艺的成熟性，为各种令人兴奋的基于光子学的新产品和新的应用于的300-mm生产奠下了基础。

低折射率玻璃晶圆是领先AR/MR设备的关键组件，早已构建了批量生产。产品组合获取了超过1.9的折射率，反对深度沉浸于的AR/MR应用于，视野更加甚广，高达65度。

在与增强现实硬件制造商展开多年研发之后，肖特在2018年发售了第一代。这款高端产品在上市一年后之后荣获了享有盛誉的2019年SID表明行业奖（SIDDisplayIndustryAward2019）。关于肖特肖特是特种玻璃、微晶玻璃和涉及高科技材料领域的领先国际技术集团。

公司累积了多达130年的经验，是众多行业的创意合作伙伴，其中还包括家用电器、医药、电子、光学、生命科学、汽车和航空业。肖特在全球34个国家和地区另设生产基地和销售办事处。

公司目前享有员工多达15500名，2017/2018财年的销售额为20.8亿欧元。总部坐落于德国美因茨的母公司SCHOTTAG由卡尔蔡司基金会（CarlZeissFoundation）全资享有。卡尔蔡司基金会是德国历史最历史悠久的私立基金会之一，同时也是德国规模仅次于的科学增进基金会之一。

作为一家基金公司，肖特对其员工，社会和环境负起类似责任。关于EV集团（EVG）EV集团（EVG）是为半导体、微机电系统（MEMS）、化合物半导体、功率器件和纳米技术器件生产获取设备与工艺解决方案的领先供应商。其主要产品还包括：晶圆键合、厚晶圆处置、光刻/纳米压印（NIL）与计量设备，以及涂胶机、清洗机和检测系统。

EV集团正式成立于1980年，可为遍布全球的众多客户和合作伙伴网络获取各类服务与反对。SmartNIL，NILPhotonics及EVGroup标识是EVGroup的注册商标,是SCHOTT的注册商标。

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